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薄膜厚度測量

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發(fā)布時(shí)間: 2025-05-26 09:57
最后更新: 2025-05-26 09:57
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變焦功能,可對各種異形凹槽件進(jìn)行無損檢測,凹槽深度范圍0-90mm

核心EFP算法,可對多層多元素快、準(zhǔn)、穩(wěn)的做出數(shù)據(jù)分析,配有高精密微型移動(dòng)滑臺(tái),可實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位、多樣品的位移和檢測

可分析23個(gè)鍍層、24種元素,測量元素范圍:氯Cl(17)- 鈾U(92),涂鍍層分析范圍:鋰Li(3)- 鈾U(92),涂鍍層檢出限:0.005μm

人性化封閉軟件,自動(dòng)判斷故障提示校正及操作步驟,避免誤操作


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